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[精密加工相談室]   技術情報 - 微細加工技術
   
  弊社の関わる微細加工技術の紹介です。
Last Updated:2012-03-16           
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SUS304微細パイプφ1.2xφ0.3x20Lに"外径ループ加工"!
[SUS304φ1.2xφ0.3外径ループ加工品] ・材質:SUS304
・仕様:φ1.2xφ0.3x20L(外径ループ加工)
・メモ:内径に光ファイバーが通る。外径ループは樹脂モールドの為の抜け止め。
コバール製の段付きピン"微細加工"!
[コバールピン微細加工] ・材質:コバール(Fe-29Ni-17Co)
・仕様:φ0.47x
φ0.31x4.28L(段付きピン)
・メモ:セラミック及びガラスなどの封止用として使用。
難削材純タングステンφ3x30L先端部を"マトリックス"状に微細加工!
[Wφ3先端微細加工] ・材質:純タングステン(W:99.95)
・仕様:φ3x30L(先端部:V字状溝/深さ0.3)
・メモ:溶接用電極として使用。
難削材純タングステン先端部を"R0.015/角度30度"で精密研磨加工!
[W先端R0.015研磨加工] ・材質:純タングステン(W:99.95)
・仕様:φ3.11x23L(先端部:R0.015/角度30度研磨)
・メモ:放電用電極として使用。写真右側は先端部を拡大したもの。
高純度ニッケル製「微小パイプ(極細管)」!
[高純度ニッケル極細管]

材質:高純度ニッケル(Ni/99.9%)

仕様:概略サイズ⇒φ1.47xφ1.01x3.96L。

メモ:用途例として特殊真空管用スリーブ等がある。

石英ガラス断面「プリズム」研磨加工!
[ガラス断面プリズム研磨]

材質:石英ガラス

仕様:概略サイズは "2tx34Wx60L"。

メモ:矢印部の3断面<2t>を1/2λ(ラムダ)にてプリズム研磨加工。

純タングステン製"超極細"コンタクトプローブ用「プランジャー」!

[W製ワイヤープローブ加工例]

材質:純タングステン(W:99.95%)
仕様:概略サイズは拡大写真参照(φ0.14〜φ0.22x30L)。
メモ:高強度の純タングステン使用により、ファインピッチデバイス検査用プローブの耐久性向上。

ソフトフェライト製「微小フェライトコア」の加工例!
[微小フェライトコア]

材質:ソフトフェライト

仕様:概略サイズは拡大写真参照。

メモ:用途例として光通信用モジュールの「フェライトコア」等がある。

純タングステン製コンタクトプローブ用「プランジャー」の微細加工例!
[W製コンタクトプローブ用プランジャー加工例]

材質:純タングステン(W:99.95%)

仕様:概略サイズは拡大写真参照。

メモ:従来、鋼材や銅合金製であるコンタクトプローブ用「プランジャー」に高強度の純タングステン製を使用する事により耐久性向上が見込まれる。

極小内径の快削黄銅管を使用した微細加工!
[極小内径快削黄銅管]

・材質:快削黄銅管(Cu60/Pb1.2/Zn残)
・仕様:φ6.5xφ1x300L(加工済み写真/左)、φ5.5xφ0.5x300L(加工済み写真/右)
・メモ:用途はデバイス用の冷却管(内径φ1とφ0.5の2種類/内径側に冷却用液体が通る)。右側写真は使用した素材管(φ5.5xφ0.5xL)。

アルミナ製微小ルツボ加工!
[アルミナ微小ルツボ]

*材質:アルミナ(AL2O3/99.5%)

*仕様:外径φ7x内径φ6x22L(肉厚0.5t/底板1t)

*メモ:脆いアルミナ材に対する薄肉、微小加工。用途は特殊微小ルツボ。

難削材純タングステン先端部を角度8.3度で鋭角研磨加工!
[W先端鋭角加工]

・材質:純タングステン(W:99.95)
・仕様:φ3x150L(先端部:角度8.3度/面粗さ:Ra0.4)
・メモ:先端部を角度8.3度で鋭角研磨加工。写真右側は先端部を顕微鏡にて拡大。

難削材純タングステンにφ0.5穴加工!
[Wφ0.5微細穴加工]

材質:純タングステン(W:99.95)

仕様:外径φ8x内径穴φ0.5(開口部90度テーパー)

メモ:難削材純タングステンにφ0.5穴加工、開口部90度テーパー部はラップ研磨。用途は特殊ノズル。

軟質系材料の鏡面研磨(面粗度:Ra0.1μm以下)!
[軟質系材鏡面研磨]

材質:アルミ合金(左側/A5056),無酸素銅(右側/C1020)

仕様:アルミ合金、無酸素銅とも同一サイズ/φ23x3t(mm)

メモ:鏡面研磨が困難といわれる軟質系材料(アルミ系、銅系)において、面粗度Ra0.1μm以下を実現。

BN材で微細チューブ形状品(穴径φ0.6)!
[BN-tube]

材質:BN(ボロンナイトライドセラミクス)

仕様:φ3xφ0.6x30L(mm)

用途:微小熱電対用保護管

石英ガラスをスクウェアに「ファインカット!」
[石英ガラスファインカット]

材質:石英ガラス

仕様:2.6tx4wx20L(mm)

用途:通信デバイス

「ナノの輝き!」高純度アルミナ”鏡面”ナノ研磨(⇒鏡面の為、表面に照明ライトが映る)
[高純度アルミナー鏡面ナノ研磨]

 

[鏡面ナノ研磨粗度データ]【表面粗度測定データ】

材質:高純度アルミナ(AL2O3/99.99%)
仕様:サイズ→@φ41xφ23x0.5t/A0.5tx13x18/B0.5tx20x60/表面粗度→Ra10.86nm(ナノメーター=100万分1mm=1000分1µm)
用途:アクセサリー用部品

ソフトフェライト薄板基板(0.5t)に極小穴加工φ0.13!
[フェライト0.13穴]

材質:ソフトフェライト(板厚=0.5t)

仕様:穴径φ0.13mm/最小穴間ピッチ0.2mm

用途:半導体向け治具

セラミクス薄板(0.5t)を度0.9µm(0.0009mm)仕上げ!
[AL2O3平坦度0.9μm]

 

 

材質:アルミナセラミクス(AL2O3/99.9%)
仕様:0.5tx4.9x8/平坦度→0.9µm
用途:HDD用ヘッド測定器部品

[平坦度データ]

【レーザー干渉計測定データ】

驚異!極薄セラミクス板(0.1t)をナノ研磨!(1ナノメーター=100万分1ミリ=1000分1ミクロン)
[AL2O3ナノ研磨]

 

[ナノ研磨表面粗度データ]【表面粗度測定データ】

材質:アルミナセラミクス(AL2O3/99.9%)
仕様:サイズ→0.1tx4x4.8/表面粗度→Ra5.38nm(ナノメーター)
用途:HDD用ヘッド測定器部品

マイクロマシン向け微細加工技術
[モーターシャフト]

材質:SUS304(18〜20Cr,9〜13Ni,0.03Cu,Fe bal.)

仕様:最小径φ0.15mm/最大径φ0.3mm/長さ1.0mm

用途:マイクロマシン用モーターシャフト

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